为什么射频溅射可以溅射非导电靶材？

2022-08-03 09:19:14

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答：电子在射频电场作用下形成振荡运动，电离能力大大增强，并不像直流放电中对阴极二次电子发射有强烈的依赖。高频电路的能量可以通过耦合方式进入放电空间，并不需要像直流放电中通过导电电极进入放电空间。另在放电的等离子体中，由于靶电极与作为另一电极的壳体的面积之间的巨大差异，会使靶电极产生可观的自偏压，吸引了离子轰击而产生溅射作用。

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