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什么是偏压溅射？

2022-08-03 09:18:40

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答：在一般溅射装置的基础上，将基体电位与接地阳极电位分开，并在基体与等离子体之间施加一定大小偏置电压，可以吸引一部分放电空间的离子趋向基体，其轰击效应可以达到改善膜层微观组织与性能的目的。此为偏压溅射。

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