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什么是三极溅射？其工艺参数如何？

2022-08-03 09:20:18

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答：在二级溅射的基础上，增加一个发射电子的热阴极及一个加速电子的辅助阳极，由于热电子增强了放电空间的电离能力，所以可以降低放电的压力，减少气体杂质的污染，提高沉积速率，此为三极溅射。典型的工艺参数：工作电压0.5Pa，溅射电压1500V，靶电流密度2.0mA/ cm2，薄膜沉积速率。

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