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为什么选用氩气作为放电气体？

2022-08-03 09:30:23

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答：因为氩气的放电电压不高，易于形成稳定的放电；氩气有较大的原子量，这是产生较大的溅射产额所需要的；氩气是惰性气体，不会与靶材发生反应；氩气也是自然界含量Z多的惰性气体；对某种特定材质的溅射率，是随着入射粒子原子量的变化发生周期性的变化，而每每在惰性气体产生Z大值。

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