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如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？

2022-08-03 08:56:15

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答：采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和，根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置，能及时中和靶上的正离子及阳极上的电子，从而达到抑制“拉弧”的目的。

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