page contents
新闻banner
您当前的位置 : 首 页 > 新闻中心 > 知识问答

如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象?

2022-08-03 08:56:15

答:采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和,根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置,能及时中和靶上的正离子及阳极上的电子,从而达到抑制“拉弧”的目的。

最近浏览:

Copyright © 苏州摩星真空科技有限公司 All rights reserved 备案号: 苏ICP备19008229号 技术支持: