低碳、无油、高效的电弧吸附泵

一、真空行业背景

（一）真空技术提供了除太空之外Z清洁的环境，现已成为众多产业和重大科研装备的技术基础；

（二）然而，真空产业的核心—真空泵，几十年来，一直未能跟上产业发展的步伐，未有实质性的提升；

（三）其中，高能耗、高油蒸汽污染的“扩散泵”，问世至今已80年，一直占据着大型高真空设备的主流市场，制约了真空产业的发展。

二、高真空扩散泵的缺陷  

1.   扩散泵利用油蒸汽喷射抽气，油蒸汽污染严重，影响真空产品质量；

2.   能耗高。约30 kW（KT-800，包括前级泵）；（扩散泵机组年耗电30万度/台。我国在用设备约10万台，耗电总量达300亿度/年）

3.  启动时间长（约1小时），降低产能；抽气不能中断，需要间断抽气的场合，（例如: 蒸发镀膜），抽气利用率不  到1/3，造成极大浪费；  体态粗笨，占地空间大。  

三、高真空泵的发展趋势

为消除油蒸汽污染，提高真空及产品质量：

●  近年来，部分高端设备采用POLYCOLD(-120℃ 深冷水汽泵) 辅助扩散泵抽气，抽气时间缩短，油蒸汽污染降低，取得一定成效。 

●  然而，设备费用和能耗成倍增加，加上油蒸汽污染源头 —“扩散泵”依旧存在， 油蒸汽污染无法消除，未能推广应用。

四、“电弧吸附泵”— 高真空技术的升级换代

本项目“电弧吸附泵”利用弧光放电+化学吸附抽气，具有显著优点：

●  大抽速， Z高抽速≥10万l/s；

●  低能耗，仅为扩散泵的1/10~1/3；

●  无油蒸汽污染；

●  启动迅速，＜0.1sec，随用随开，抽气利用率100%；

●  体积小，不到扩散泵的1/3；

●  重量轻，不到扩散泵1/4。

五、电弧钛泵典型应用：无油蒸发镀膜设备

六、电弧钛泵必然取代扩散泵

项目创新点：

1.   攻克高真空弧光放电难题：（国际首创，弧光放电需要大量气体分子，与高真空不兼容）；

2.   利用弧光放电 + 化学吸附，实现高真空抽气（国际首创）；

3.   能耗低，仅为扩散泵机组的1/10~1/3；抽气利用率100%，高出扩散泵1~2倍；电弧吸附泵各项技术指标全面领先，将终结传统扩散泵！

七、市场需求分析

1.   我国扩散泵的市场需求（包括：蒸发镀膜、真空钎焊、真空熔炼、真空烧结和真空热处理等）：1,000 台/年

2.   电弧泵的年需求量（按取代其中80%测算）： 800 台/年

3.   电弧泵机组的市场销售额（10万元/台）：8,000万元/年   

4.   当年销售电弧泵的节电量（按节电24 kW/台，单班制，300天/年测算）：4,600万度/年

5.   电弧泵机组，两年节省的电费，即可收回设备费用 

八、自主知识产权

本项目从理论创立、结构发明、直至工业应用，均由本研发团队独立完成，希望为“中国发明、中国制造”贡献一份绵薄之力！