产品结构特点 

● 结构简单，转子全部由平圆盘组成（图1），攻克了分子泵涡轮转子易打片损坏的一大缺陷。

● ML系列立式径流泵采用独特的侧壁进气模式， 攻克了传统分子泵入口面积流导限制，无需提高转速，即可提高抽速50%。

产品性能特点 

● 无需干式泵，获得低成本、大抽速、清洁无油真空，真空质量达到液氮冷阱（LN2） +干式泵的水平；

● 兼有中、高真空泵双重性能，一台泵取代二台真空泵，简化真空系统结构，节省设备费用和占地空间；

● 抽速大，高真空抽速高出分子泵50%，中真空抽速高达罗茨泵3~50倍；

● 能耗低，仅为分子泵的1/2，扩散泵的1/5，罗茨泵1/10；

● 体积小、重量轻，仅为分子泵的2/3，扩散泵的1/4，罗茨泵的1/10；

技术参数  

应用领域 

● 重离子加速器

● 太阳能电池、LED、显示屏、超级电容器、电力电容器

● 蒸发镀膜、光学镀膜、钛金镀膜、连续镀膜生产线、化学气相沉积

● 稀土永磁材料烧结、真空钎焊、真空热处理、真空脱羟

● 分子蒸馏、生物制药、冷冻干燥 

● 真空磁悬浮列车

应用实例  

● 重离子加速器

MB-200径流泵取代液氮冷阱（LN2）+ EDWARDS螺杆泵， 获得清洁、无油真空， 真空质量达到国际领先水平，设备费用降至1/5（甘肃省科技厅甘科鉴字 [2010]第361号）。

● 蒸发镀膜

四台MＬ-250立式径流分子泵, 取代传统蒸发镀膜设备的K-800扩散泵+ZJ-1200罗茨泵机组， 抽气时间缩短1/3，产能显著提高，节省抽气能耗80%，消除油蒸汽污染，消除膜层色泽泛黄现象，显著提高膜层结合力，提升产品市场竞争力。

● 钛金蒸馏 

MB-250卧式径流泵，取代MB-250传统分子泵，镀膜压强提升一倍，工作气体流量翻二番，产能提高50%，镀膜工艺稳定，色泽一致性显著提高。

● 真空脱羟炉  

MB-250径流分子泵用于江苏×××石英制品有限公司真空脱羟炉，取代扩散泵机组，消除油蒸汽在石英管壁上留下的微量污痕，产品质量达到进口高档石英管，表观质量优于进口。

● 分子蒸馏 

MB-250卧式径流分子泵用于浙江××生物高科分子蒸馏设备，产品胆固醇的纯度由65%升至95%，产品由饲料级升至制药级，产能翻一番，节省抽气能耗80%。

专用真空泵  

● 蒸发镀膜专用泵

ML系列立式径流泵是按取代传统高能耗、高油蒸汽污染扩散泵为目标研制的专用泵，该泵在高真空区段（≤0.1 Pa）的抽速高出MB系列卧式径流泵50%，而且体积小、重量轻，4台ML-250径流泵并联，即可取代一台K-800扩散泵+ZJ-1200罗茨泵机组。

● 分子蒸馏专用泵 

ME系列径流泵是按分子蒸馏的特殊要求研发的专用泵， 在分子蒸馏的主要工作区段(0.1~3Pa）具有Z大抽速（高出罗茨泵10~50倍），已成为当今工业分子蒸馏设备的Z佳选择。