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是什么原因影响了油扩散泵的运用范围?

2022-08-03 09:56:50

答:油扩散泵的工作上限是由于超过此压力,被抽气体密度高,与蒸汽射流碰撞造成了对射流的破坏。而在工作下限时,由于被抽气体从前级的反扩散超过了蒸汽射流的抽气作用。

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