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什么是溅射产额？

2022-08-03 09:32:31

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答：当某种离子以确定的能量、确定的方向轰击某种材料表面时，所能溅射出的材料原子数，称为在该种入射离子条件下，材料的溅射产额，又称为溅射率，溅射系数。

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