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合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？

2022-08-03 09:27:06

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答：由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大，Z大可达几个数量级，所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不会太大，再加上在溅射过程中，择优溅射使溅射率高的元素贫化，溅射率低的元素富集，通过这种自身调节可使沉积膜层的成分比例更接近原合金的比例。

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