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磁控溅射中，磁场起什么作用？

2022-08-03 09:21:57

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答：磁场虽不能对运动电荷做功，但是能改变运动方向，在磁控溅射中，靶面水平方向的磁场和法向的电场构成了互相垂直的电磁场，电子在正交场的作用下在垂直电场和磁场的方向上做旋轮线运动（俗称跨栏运动），而且靶面磁场的分布使这一运动形成闭合的跑道，这样就大大延长了电子的运动路程，从而显著提高了其电离的能力。

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