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磁控靶表面的磁场强度是多少？

2022-08-03 09:06:36

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答：水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动，其旋轮半径，磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围，才能使电子的电离作用得到Z大的发挥。因为阴极位降区是放电能够维持的主要电离区域。

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