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径流分子泵简介一、背景真空技术提供除太空之外Z清洁的环境,成为众多产业和重大科研装备的技术基础。真空产业已成为与国家科技实力和国计民生息息相关的重要产业。然而,真空技术的核心—真空泵,自1958年,德国W.Becher博士发明涡轮分子泵(