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澳门6KW/10KW微波等离子体气相沉积系统

2023-05-16 15:57:53
澳门6KW/10KW微波等离子体气相沉积系统
详细介绍:

KC81051是先进的第三代微波等离子体化学气相沉积系统,具有独特的下馈入式复合谐振模反应器,有效沉积面积大,微波效率高,无硅污染,衬底取放及腔体清洁较为方便,提供了较高的生产效率。
设备微波系统及反应器制造精度高,在工艺上有很好的重复性。系统运行由智能工艺控制软件全自动控制,降低了了对生产操作人员的要求,在长达数周的生长过程中也可以保障极高的稳定性,适用于人造金刚石及相关材料的大规模量产。

企业微信截图_16842237935654副本.png

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