6KW/10KW微波等离子体气相沉积系统

2023-05-16 15:57:53

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详细介绍：

KC81051是先进的第三代微波等离子体化学气相沉积系统，具有独特的下馈入式复合谐振模反应器，有效沉积面积大，微波效率高，无硅污染，衬底取放及腔体清洁较为方便，提供了较高的生产效率。
设备微波系统及反应器制造精度高，在工艺上有很好的重复性。系统运行由智能工艺控制软件全自动控制，降低了了对生产操作人员的要求，在长达数周的生长过程中也可以保障极高的稳定性，适用于人造金刚石及相关材料的大规模量产。