分子增压泵磁控溅射镀膜设备

2022-08-03 15:45:54

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分子增压泵磁控溅射镀膜设备

储继国1，龚建华2

1.深圳大学物理科学与技术学院，2.深圳市摩尔真空技术有限公司

（广东省产学研基金项目）

传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩散泵抽气，能耗高，油蒸汽污染严重，影响产品质量。Z近，越来越多的设备改用分子泵抽气，镀膜阶段的油蒸汽污染基本消除，能耗也有所降低，取得了较好的经济效益。然而，仍然存在如下问题：

立式径流分子泵

1．粗抽阶段，油蒸汽污染严重。粗抽通常采用旋片泵+罗茨泵机组（其油蒸汽本底为10-1~10-2 Pa），粗抽压强通常为1~3Pa，此压强是返油率Z高的区段，不到1秒钟，尚未镀膜的工件表面，就会形成几个分子厚的油分子薄层，严重影响镀膜产品的结合力和其它质量指标。在待镀件不能高温烘烤的场合，其危害更大。

2．有效抽速低。在磁控溅射镀膜Z关键的磁控放电阶段（约0.3~0.8Pa），分子泵的抽速仅为标称值的50%，即分子泵的抽速利用率仅50%，一台泵只能作半台泵使用，浪费抽气资源。

3．能耗高。分子泵的能耗较低，但前级泵能耗很高，Φ1200×1000镀膜设备的标称抽气功率达14 kW，总能耗仍然很高。

4．开、停泵时间长，影响生产效率。主泵通常采用2台F-400分子泵，开、停泵时间约50分钟。

5．分子泵易发生打片损坏。

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MB泵磁控溅射.doc