分子增压泵大型蒸发镀膜设备

2022-08-03 15:44:51

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无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的新一代蒸发镀膜设备

分子增压泵大型蒸发镀膜设备

储继国1，龚建华2，郑主安3，蒋新元3，潘尚尧4，王树理5，王雨5

1．深圳大学物理科学与技术学院 2．摩尔市真空技术有限公司

3．上海三井真空设备有限公司 4. 深圳市振恒昌实业有限公司

（2008年广东省产学研基金资助项目）

大型蒸发镀膜目前存在的问题

MB-200卧式径流分子泵 2015

1．油蒸汽污染

■ 粗真空：通常采用滑阀泵，或旋片泵。它们都是有油泵，本底油蒸汽压为10-1 Pa。

■ 中真空：通常采用罗茨泵。该泵的油蒸汽污染为10-2 Pa，其污染也不能忽略。

■ 扩散泵的油蒸汽污染为10-5~10-6 Pa，该污染很难清除，是真空镀膜的头号大敌。

2．能耗高

大型蒸发镀膜设备抽气机组的典型配置有如下两种：

■ 单扩散泵机组：KT-800+ ZJ-1200+ H-150+2X-30（维持泵）, 抽气能耗为35kW。

■ 双扩散泵机组：2×K-800+ ZJ-1200+ H-150+1m2深冷水汽泵+2X-30（维持泵）抽气能耗为50kW。

3．活性气体分压强高

蒸发镀膜设备频繁暴露大气，镀膜室会吸附大量水汽，因此，精抽本底中，H2O占80~90%。

近年来，部分设备开始采用深冷水汽泵（-120℃）与扩散泵一起工作，抽气时间明显缩短，油蒸汽污染也有所降低，但未能消除，然而，能耗和费用进一步增加，因此，未能在大范围内推广应用。

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