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为什么反应溅射沉积速率低？

2022-08-03 08:58:39

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答：在反应溅射时，反应气体会与靶材反应生成化合物，而化合物的溅射率低于原靶材的溅射率。另一方面，化合物的二次电子发射能力强，增大的二次电子发射将降低靶电压，从而影响溅射速率。还有，反应气体亦参与溅射，而其溅射能力欠于Ar气。由于以上原因造成反应溅射沉积速率低。

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